Magnetron sputtering kouch se yon nouvo kalite metòd kouch vapè fizik, ki sèvi ak yon sistèm zam elèktron pou emèt ak konsantre elektwon sou materyèl la yo dwe kouvwi, se konsa ke atòm yo sputtered swiv prensip la nan konvèsyon momantòm, se konsa ke materyèl la gen pi wo mekanik. pwopriyete yo. Materyèl la yo dwe plake yo rele yon sib sputtering, ki sitou gen ladan metal, alyaj ak konpoze seramik.FANMETAL ka bay kliyan ak sib metal-wo kalite tankouPi Chromium Sputtering Sib, Gold Sputtering Sib,Titàn aliminyòm Sputtering sibak Sib Sputtering Copper. Tanpri voye yon imèl ba nou pou di nou bezwen ou yo.
1. Pite
Pite se youn nan endikatè pèfòmans prensipal yo nan sib la, paske pite a nan sib la gen yon gwo enfliyans sou pèfòmans nan fim nan. Sepandan, nan aplikasyon pratik, kondisyon yo pite nan sib la yo tou diferan. Pou egzanp, ak devlopman rapid nan endistri a mikwo-elektwonik, gwosè a nan gauf Silisyòm te grandi soti nan 6 ", 8" a 12 ", ak lajè a fil elektrik te redwi soti nan 0.5um nan 0 .25um, 0.18um oswa menm 0.13um. Pite sib anvan an te 99.995 pousan Li ka satisfè kondisyon pwosesis 0.35um IC, pandan y ap preparasyon {{15 }}.18um liy mande pou 99.999 pousan oswa menm 99.9999 pousan nan pite sib la.
2. Enpurte kontni
Enpurte nan solid sib la ak oksijèn ak imidite nan porositë yo se sous polisyon prensipal yo nan fim nan depoze. Materyèl sib pou diferan rezon gen diferan kondisyon pou diferan kontni enpurte. Pou egzanp, pi bon kalite aliminyòm ak sib alyaj aliminyòm yo itilize nan endistri semi-conducteurs gen kondisyon espesyal pou kontni metal alkali ak kontni eleman radyo-aktif.
3. Dansite
Yo nan lòd yo diminye porositë yo nan solid la sib ak amelyore pèfòmans nan fim nan sputtered, se sib la anjeneral oblije gen yon dansite ki pi wo. Dansite sib la afekte pa sèlman to sputtering, men tou, pwopriyete elektrik ak optik fim nan. Pi wo dansite sib la, se pi bon pèfòmans fim nan. Anplis de sa, ogmante dansite ak fòs nan sib la fè sib la pi byen kapab kenbe tèt ak estrès la tèmik pandan pwosesis la sputtering. Dansite se tou youn nan endikatè pèfòmans kle nan sib la.
4. Gwosè grenn ak distribisyon gwosè grenn
Anjeneral materyèl sib la se yon estrikti polikristalin, ak gwosè grenn lan ka varye ant mikron ak milimèt. Pou menm materyèl la sib, pousantaj sputtering nan sib la ak grenn amann se pi vit pase sa yo ki nan sib la ak grenn koryas; ak distribisyon an epesè nan fim nan depoze pa sputtering ak yon diferans ki pi piti gwosè grenn (distribisyon inifòm) se pi inifòm.
